СТРУКТУРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ Pd И Ba, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

##article.authors##

  • А.А.Абдувайитов Ташкентский государственный технический университет, Ташкент
  • Х.Х.Болтаев Ташкентский государственный технический университет, Ташкент
  • Ш.А.Талипова Ташкентский государственный технический университет, Ташкент

##submission.downloads##

##submissions.published##

2022-07-30

##issue.issue##

Материалы Республиканской научно-практической конференции «Проблемы фотоники и перспективы развития»

##section.section##

Нанофотоника

##submission.license##

##submission.copyrightStatement##

##submission.license.cc.by-nc-nd4.footer##