СТРУКТУРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ Pd И Ba, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Авторы

  • А.А.Абдувайитов Ташкентский государственный технический университет, Ташкент
  • Х.Х.Болтаев Ташкентский государственный технический университет, Ташкент
  • Ш.А.Талипова Ташкентский государственный технический университет, Ташкент

Загрузки

Опубликован

2022-07-30

Выпуск

Материалы Республиканской научно-практической конференции «Проблемы фотоники и перспективы развития»

Раздел

Нанофотоника

Лицензия

Copyright (c) 2022 А.А.Абдувайитов, Х.Х.Болтаев, Ш.А.Талипова

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.